微米加工与纳米制造（PDF） [美]Mark J. Jackson | 机械工业出版社

作者：[美]Mark J. Jackson
图书编号：9787111514824
出版日期： 2016年
出版社：机械工业出版社

内容简介

《微米加工与纳米制造》是微米/纳米加工技术方面的一本优秀著作，既有一定的理论深度，又有足够的广度，而且还有较高的可读性。它较为系统地梳理了微米加工（特别是非硅基加工）技术以及纳米加工手段，结合微流体、微惯性器件、纳米传感器等方面的典型案例，阐释了这些技术的原理和特点，提出了特定问题的高效率解决方案，给出了工艺设计方面的指南，并对这些技术的发展走向做出了高屋建瓴的判断。

获取方式

网盘链接：https://pan.quark.cn/s/31f0062161bd

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